隔离硅压阻传感器是一种利用单晶硅的压阻效应制成的传感器,主要用于测量压力。其工作原理是通过在单晶硅片上扩散一组等值的半导体电阻,并将这些电阻连接成惠斯通电桥。当硅片受到外界压力时,电桥失去平衡,通过施加激励电源(恒流或恒压),可以输出与被测压力成正比的电压信号,从而实现压力测量。
结构和工作原理
隔离硅压阻传感器通常由单晶硅片制成,硅片上扩散有四个等值的半导体电阻,这些电阻连接成惠斯通电桥。当硅片受到外界压力时,电桥失去平衡,通过施加激励电源,可以输出与被测压力成正比的电压信号。
应用场景
隔离硅压阻传感器广泛应用于各种需要高精度压力测量的场合,包括工业生产、医疗健康、消费电子及航空航天等领域。例如,在航空航天中,隔离硅压阻传感器用于测量直升飞机机翼的气流压力分布、发动机进气口的动态畸变等。此外,它们还应用于生物医学、石油化工、动力机械等多个领域。
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